高精度冷熱循環(huán)半導(dǎo)體專用chiller
水冷型:設(shè)備使用冷卻水散熱,降溫速率快,噪音更低。
風(fēng)冷型:設(shè)備使用風(fēng)機(jī)帶走熱量散熱,無廠務(wù)水需求,可自由放置。
智能PID算法,支持分段控溫、自動(dòng)演算、模糊控制等功能,控溫精度高。
制冷機(jī)系統(tǒng)使用熱氣旁通控溫,系統(tǒng)載荷動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié),節(jié)能高效。
產(chǎn)品系列覆蓋多溫區(qū),可匹配半導(dǎo)體行業(yè)不同工序。
結(jié)構(gòu)專項(xiàng)優(yōu)化,振動(dòng)低,噪音小。
具備自動(dòng)purge功能。
針對(duì)冷卻液管路工藝優(yōu)化,泄露風(fēng)險(xiǎn)低。